臭氧可以破壞致病微生物，能保證*消毒而沒有毒性副產物的產生。采用臭氧發生器消毒取代氯氣消毒可杜絕有機氯化物的生成，而且可直接去除水中有機氯化物。但有研究發現，臭氧的氧化作用具有較強的選擇性，它對水中已經形成的三氯甲烷幾乎沒有去除作用。同時臭氧會導致水中可生物降解物質的增多，可生物降解物質增多的后果會引起供水管網中細菌的繁殖，使水廠出水的生物穩定性降低。因此臭氧很少在飲用水處理工藝中單獨使用。