影響臭氧發生器水消毒滅菌效果的因素是多方面的，主要是：投加臭氧的濃度、水的溫度、pH值、水中的雜質及生物等，投加臭拉的濃度越高，水中殘余臭氧濃度就越高；在相同的臭氧濃度下，水溫越低，臭氧溶解度就越高，其溶解度在水溫30℃時為22％、10℃時為54％、0℃時為69％，pH值影響臭氧的氧化能力，pH值高氧化能力強，水的渾濁度在5mg/l以下時對臭氧消毒滅菌影響極微，水的濁度在5mg/l以上時，對臭氧滅菌消毒有影響。有相當一部分臭氧量用于有機物、無機物的氧化分解上，因此用于制作臭氧水的水應當澄清和過濾除雜質。水中雜質增加1mg/l時則須2～4mg臭氧用于氧化分解它，臭氧消耗量增大不經濟。